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產品類別:精密半導(dǎo)體清洗設備
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產品功能:
◆設備烘(hōng)幹,然結一體化結(jié)構緊湊合理,符合半導(dǎo)體製(zhì)造標(biāo)準。
◆穩定可靠的工藝溫度控製係統(采用英國WEST溫度控製器)。
◆采用美國進(jìn)口加熱(rè)燈管加熱。
◆采(cǎi)用先進的文(wén)氏排氣係統,從而保證了有害氣體的不泄(xiè)露。
◆設備控製采用工業控製機統一(yī)控製。
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